Gas Kev Lag Luam Hauv Kev Lag Luam Semiconduct

Kev siv roj av hauv semiconductor kev lag luam kev lag luam tau rov qab mus rau thaum xyoo 1960 txog 1960. Thaum lub sijhawm semiconductor tsim cov txheej txheem, roj av yog tsuas yog siv los ntxuav thiab tiv thaiv cov ntaub ntawv semiconductor kom ntseeg tau tias lawv cov kev coj dawb huv thiab qhov zoo. Ntawm cov gases feem ntau yog nitrogen thiab hydrogen.

Raws li cov cuab yeej siv thev naus laus zis txhim kho thiab tsim cov txheej txheem tsim khoom txuas ntxiv txhim kho, qhov kev thov rau roj ntxiv. Xyoo 1970, ntxiv kev txhim kho ntawm semiconductor manufacturing kev ua haujlwm tseem ceeb, thiab kev tso tshuaj fluoride (piv txwv li oxygen los ua cov roj thiab kev tso nyiaj. Xyoo 1980 pom qhov ntxiv ntxiv rau hauv kev thov roj nrog kev txhim kho kev sib xyaw ua ke thiab nce ntxiv rau lawv. Hydrogen tau dav siv nyob rau hauv kev tsim khoom, suav nrog hydrogen annealing thiab hydrogen vapor deposition. Thiab txij xyoo 1990 mus rau tam sim no, qhov kev thov rau high-purity gases thiab cov roj txheem tshwj xeeb tau txuas ntxiv mus rau cov txheej txheem semiconductor tau txuas ntxiv thiab cov txheej txheem tshiab tau qhia. Piv txwv li, daim ntawv thov ntawm cov huab ultraviolet lithography lithography (EUV) yuav tsum siv cov roj siab heev xws li nitrogen thiab hydrogen.

Cov khoom lag luam zoo tshaj plaws ntxiv nrog cov khoom lag luam uas muaj kev phom sij, thaum cov roj av muaj kev phom sij, thiab lwm yam khoom siv

Siab Ruulators: Regulators siab yog cov khoom siv los tswj cov roj siab. Lawv feem ntau muaj cov kev tswj hwm valve thiab lub siab sensor. Siab tswj hwm coj lub siab roj lub tswv yim thiab siv lub siab ntawm cov roj tso zis los ntawm kev kho lub valve kom tau raws li cov ntawv thov. Siab tswj hwm tau siv dav hauv cov chaw xws li kev lag luam, thiab chaw soj ntsuam, thiab ua kom muaj kev nyab xeeb thiab kev nyab xeeb ntawm cov pa roj.

Cov roj av roj: roj li qub yog siv los tswj cov roj ntws thiab kom cov roj sib luag. Lawv feem ntau muaj kev ua haujlwm rau / tawm uas qhib lossis kaw cov pa roj. Muaj ntau hom roj pa roj, nrog rau kev los ntawm txhais phau ntawv nyiaj, cov khoom siv hluav taws xob thiab cov khoom siv pneumatic. They are widely used in gas systems to control the flow, pressure and flow rate of gases.

Roj Siab Gauges: Roj Siab Gauges yog siv los ntsuas qhov ntsuas siab ntawm cov roj. Lawv feem ntau tau nruab rau cov chaw tseem ceeb nyob rau hauv cov pa roj hauv cov tshuab roj los saib lub siab hloov thiab xyuas kom meej tias lawv nyob hauv kev muaj kev nyab xeeb. Pa Roj Siab Gauges tau siv dav hauv kev lag luam, kev tsim khoom lag luam thiab chaw soj ntsuam, thiab cov semiconductor kev lag luam kuj tau koom nrog.

Cov cov detors roj: Cov kev ntsuam xyuas roj ntxiv tau siv los kuaj cov dej xau hauv roj. Lawv pomLub xub ntiag ntawm cov roj av thiab suab lub suab ceeb kom raws sijhawm tau raws sijhawm los tiv thaiv kom tsis txhob muaj xwm txheej phem. Cov kev ntsuam xyuas roj tau dav hauv kev lag luam, tshuaj, roj thiab roj av thiab roj semiconduct kuj tau koom nrog.