Raws li cov kev ua lag luam semiconduct grows, cov qauv kev coj ua kom dawb huv thiab kev ua kom nruj dua. Ib qho ntawm cov ntsiab lus txiav txim siab hauv qhov zoo ntawm semiconductor raug yog cov gases siv hauv cov txheej txheem. Cov roj av no ua si ntau lub luag haujlwm hauv cov txheej txheem tsim khoom, nrog rau:
Precision Txheej Txheem Tswj Tswj
Kev Tiv Thaiv Tsis Zoo
Cov Khoom Siv Hlau Ua Kom Tau
Txhawm rau ua cov haujlwm no kom zoo, cov pa roj thiab xa khoom yuav tsum muaj txiaj ntsig zoo. Cov qauv tsim ntawm cov roj xuas tes ua siv nyob rau hauv kev tsim khoom semiconduct yuav tsum tau txais kev txhim khu los yog customized sib sau ua kom ntseeg tau thiab zoo tsim ntawm semiconductors.
Gases siv nyob rau hauv semiconductor raug
Cov txheej txheem tsim cov semiconductors yuav tsum siv cov roj sib txawv ntawm cov theem ntawm cov txheej txheem.
Thaum muaj cov roj av xws li nitrogen, hydrogen, egonon thiab helium thiab helium thiab helium thiab helium thiab helium thiab Helium thiab qee cov txheej txheem yuav xav tau cov kev sib xyaw tshwj xeeb. Silanes lossis sixananes, Halides thiab Hydrocarbons yog ob peb ntawm cov roj tshwj xeeb uas siv nyob rau hauv kev raug tsim khoom. Ntau yam ntawm cov roj av no tuaj yeem muaj kev puas tsuaj lossis cov kev sib tw heev, tsim kev sib tw, kev sib tw hauv kev xaiv thiab tsim cov khoom siv rau cov roj.
Nov yog qee yam ua piv txwv:
\ Hydrogen thiab Helium tuaj yeem yooj yim xau los ntawm cov kav dej thiab haum lub tshuab vim lawv cov me atomic loj thiab qhov hnyav.
\ Lo lo lo lo lo lo lo ntxhuav yog cov nplaim taws heev thiab tuaj yeem nteg ntom ntom (Autoignite) hauv huab cua.
\ Nitrogen diflluoride siv nyob rau hauv cov ntawv tso tawm, etching thiab chamber tu cov roj muaj zog ua kom muaj zog roj av.
\ Hydrogen fluoride (etching roj) yog corrosive heev rau hlau kav.
\ Kev Hloov Taws Xob thiab Ammonia tuaj yeem yooj yim los daws - me me hloov hauv lawv qhov kev kub thiab lub zog yuav cuam tshuam rau cov txheej txheem thauj khoom.
Kev tswj cov txheej txheem kev mob kom txo qis cov teebmeem tsis zoo ntawm cov roj av no yuav tsum yog qhov tseem ceeb tshaj plaws thaum lub zog tsim. Nws yog qhov tseem ceeb uas tseem ceeb los siv cov khoom siv zoo tshaj plaws xws li afphragm li qub thaum lub sijhawm tsim.
Kev daws cov qauv tsim qauv kev sib tw
Cov Khoom Siv Qib Qeb Qeb yog feem ntau ntawm cov mob siab thiab cov kev mob ua tsis tau zoo ntawm cov txheej txheem tsim khoom, xws li Etch thiab Estch thiab Deposition Gases. Takeage los yog kev sib kis ntawm cov roj av uas muaj peev xwm tsis zoo. Yog li ntawd, nws yog qhov tseem ceeb rau cov txheej txheem system uas siv los ua hermetically kaw thiab corrosion resistant nrog rau qhov muaj qhov tsis huv thiab tias ib qib siab uas muaj kev huv si tuaj yeem raug tswj xyuas.
Ib qho ntxiv, qee cov roj av roj tuaj yeem ua kom sov lossis txias kom ua tiav cov txheej txheem xav tau. Cov tshuaj tiv thaiv zoo ua kom muaj kev tswj qhov kub, uas yog qhov tseem ceeb rau kev ua tau zoo ntawm cov khoom kawg.
Los ntawm cov hauv paus inlet mus rau lub ntsiab lus ntawm kev siv, AFK cov ntau ntawm cov khoom siv txhawb nqa lub ultra-siab, kub, kev tswj hwm kom muaj nyob rau hauv semiconductor cov kev ua kom huv thiab cov chav nqus tsev.
Tsim cov tshuab uas muaj qhov ua tau zoo nyob hauv cov kab lus semiconductor
Lub luag haujlwm ntawm cov khoom siv tau zoo thiab tsim qauv yog qhov tseem ceeb yog qhov tseem ceeb rau kev tswj hwm thiab tsim kev tsim khoom ntawm cov semiconductors. Cov Cheebtsam uas tau siv yuav tsum tau ua kom ruaj khov thiab xau dawb kom phim cov txheej txheem sib txawv ntawm cov khoom lag luam sib txawv ntawm cov khoom lag luam.
Ultra-siab huv
Cov ntsaws ruaj ruaj
Kub tswj Rwb Thaiv Tsev Rwb Thaiv Tsev
Siab tswj
Corrosion Kuj
Electrolytic Polishing Kev Kho Mob
Lub Sijhawm Post: Kaum-09-2023