Kev siab tawv roj roj piping thev naus laus zis yog qhov tseem ceeb ntawm cov roj siab siab, uas yog cov peev txheej siab ua kom tiav rau qhov kev siv siab zoo; Kev siab tawv roj roj piping thev naus laus zis suav nrog kev tsim qauv ntawm cov kab ke, xaiv cov fittings thiab accessories, tsim kho thiab kev teeb tsa. Nyob rau hauv xyoo tsis ntev los no, cov ntsiab lus los nruj zuj zus ntawm cov khoom siv hluav taws xob siab tau ua rau cov piping tshuab ntawm cov roj siab siab zuj zus thiab muaj kev txhawj xeeb. Cov hauv qab no yog ib qho kev qhia luv luv ntawm high-purity roj pip los ntawm cov khoom xaivof Kev tsim kho, nrog rau kev lees paub thiab kev tswj txhua hnub.
Cov Hom Kev Siv Hluav Taws Xob
Kev faib tawm cov pa roj hauv cov khoom siv hluav taws xob:
Cov Khoom Siv Hluav Taws Xob(Roj roj): Hydrogen (h2), nitrogen (n2), oxygen (o2), Argon (a2), thiab lwm yam.
Cov Khoom Siv Tshwj Xeebyog siih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Thr,CF4 ,NH3,Pockl3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, BCl3 ,Sif4 ,Tus nplais3 ,Co las,C2F6, N2o,F2,Hf,HBR SF6.......
Cov hom ntawm cov roj tshwj xeeb feem ntau tuaj yeem faib ua kev xebpaus, lompaus, nplaim tawspaus, cog luspaus, inertpaus, thiab lwm yam. Cov roj semiconductor feem ntau yog feem ntau tau cais raws li hauv qab no.
(i) Corrosive / Toxicpaus: HCL, Bf3, Wf6, HBR, Sih2Cl2, Nh3, Ph3, Cl2, Bcl3... thiab lwm yam.
(ii) Cov Flammabilitypaus: H2, Ch4, Sih4, Ph3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, CH2F2,Ch3F, co ... thiab lwm yam.
(III) combustibilitypaus: O2, Cl2, N2O, nf3... thiab lwm yam.
(IV) inertpaus: N2, Cf4, C2F6, C4F8,Sf6, Co2, Tsis yog, Kr, nws ... thiab lwm yam.
Ntau semiconductor gases yog kev phom sij rau tib neeg lub cev. Tshwj xeeb, qee cov roj av roj, xws li Sih4 Tshuav kev sib xyaw ua ke, ntev li ntev tau ib qho dej xau yuav hnov cov kev sib ntaus sib tua nrog cov pa taws hauv huab cua thiab pib hlawv; thiab tshauv3Heev toxic, ib qho xau me ntsis yuav ua rau muaj kev pheej hmoo ntawm tib neeg lub neej, yog li cov kev nyab xeeb ntawm kev tsim kho lub cev yog qhov ntau.
Daim ntawv thov tau txais roj av
Raws li ib qho tseem ceeb cov khoom siv ntawm cov khoom lag luam niaj hnub, cov roj av, cov roj av tshwj xeeb siv, cov khoom siv roj tshwj xeeb, cov khoom siv hauv tsev, kev ua khoom noj thiab cov tshuaj kho mob. Daim ntawv thov cov roj muaj qhov cuam tshuam tseem ceeb rau cov thev naus laus zis ntawm cov liaj teb no tshwj xeeb, thiab nws puas yog cov khoom siv raw hluav taws xob nyoos lossis txheej txheem roj. Tsuas yog nrog cov kev xav tau thiab txhawb nqa ntawm ntau cov haujlwm tshiab muaj thiab cov khoom lag luam hauv niaj hnub, cov khoom lag luam roj niaj hnub no, cov kabmob roj av tuaj yeem tsim kho tau los ntawm kev lag luam kev lag luam thiab cov ciam teb ntawm ntau yam, zoo thiab ntau.
Cov Khoom Siv Roj Hauv Microelectronics thiab Semiconductor Kev Lag Luam
Kev siv cov roj av ib txwm ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv cov txheej txheem sementonduct, los ntawm cov khoom siv hluav taws xob tam sim no, txhua yam uas siv cov txheej txheem ua haujlwm ntawm cov khoom tsim khoom ntawm cov khoom lag luam. Kev ntshiab ntawm cov roj muaj kev txiav txim siab ntawm kev ua yeeb yam ntawm cov khoom siv thiab cov khoom lag luam muaj feem cuam tshuam nrog kev noj qab haus huv ntawm cov neeg ua haujlwm thiab kev nyab xeeb ntawm cov nroj tsuag ua haujlwm.
Qhov tseem ceeb ntawm cov piping ntau hauv cov roj siab siab
Nyob rau hauv cov txheej txheem ntawm stainless hlau melting thiab ua cov khoom siv, kwv yees li 200g ntawm cov roj tuaj yeem nqus tau ib tuj. Tom qab kev ua cov hlau tsis muaj hlau, tsis tsuas yog nws cov khoom sib kis saum npoo nrog ntau yam kis tau, tab sis kuj nyob rau hauv nws cov hlau lattice kuj nqus tau qee yam ntawm cov roj. Thaum muaj airflow los ntawm cov raj dej, cov hlau nqus cov pa hluav taws xob no feem yuav rov nkag mus rau hauv cov pa roj ntshiab. Thaum lub Airflow nyob rau hauv lub raj yog qhov chaw nres tsheb tsis tau, thiab cov roj av tau nkag mus rau hauv cov roj ntshiab kuj nkag mus rau cov roj ntshiab uas tsis zoo. Nyob rau tib lub sijhawm, cov adstorption thiab daws teeb meem rov ua dua, kom cov hlau nyob rau sab hauv ntawm lub raj kuj tseem ua rau cov pa ntshiab huv sab hauv lub raj. Cov xeeb ceem no ntawm lub raj yog qhov tseem ceeb los xyuas kom meej qhov kev thauj khoom ntawm cov raj ntawm lub raj, tab sis kuj yog lub siab hnav tsis kam.
Thaum cov roj nrog cov muaj zog corrosive kev ua tau yog siv, corrosion-resistant stainless hlau kav yuav tsum tau siv rau piping. Txwv tsis pub, cov yeeb nkab yuav tsim cov pob txha corrosion rau sab hauv vim kev xeb, yuav muaj qhov zoo tag nrho, yuav muaj cov roj ua kom paug rau cov roj ntshiab.
Kev sib txuas ntawm cov kev coj dawb huv thiab kev ntxuav roj kom huv thiab xa cov raj xa khoom thiab xa cov nqi loj.
Hauv txoj ntsiab cai, tag nrho cov ntawm lawv yog welded, thiab cov leeg uas yuav tsum tau kom tsis muaj kev hloov pauv hauv lub koom haum thaum vuam siv. Cov ntaub ntawv nrog rau cov ntsiab lus carbon ntau dhau yog raug rau cov pa roj av hauv tsev thiab sab nraud, uas ua rau muaj kev sib cav sib ceg thiab ua kom huv si ntawm cov roj sib kis tau, ua rau txhua yam poob ntawm peb lub dag zog.
Hauv cov ntsiab lus, rau cov roj siab siab thiab cov khoom siv tshwj xeeb hauv kev kho mob, nws yog qhov kev txhawb nqa siab, VMP) hauv kev txhawb nqa roj ntau dua.
Cov ntsiab lus dav dav ntawm cov thev naus laus zis huv rau kev xa khoom thiab xa cov raj xa khoom
Kev ntshiab heev thiab huv si roj lub cev kis tau nrog cov piping txhais tau tias muaj qee yam cai lossis kev tswj hwm ntawm cov roj mus thauj.
Cov huab cua tsis huv: cov ntsiab lus ntawm cov kev ua kom huv, feem ntau qhia raws li feem pua ntawm cov huab cua tsis zoo PPM, PPB, Ppt.
Cov Dryness: Tus nqi ntawm cov law noo nyob rau hauv cov roj, lossis tus nqi hu ua ntub dej, xws li cov lus hais ntawm lwg point, xws li atighpheric siab ntswj -70. C.
Kev nyiam huv: Cov naj npawb ntawm cov khoom paug muaj nyob hauv cov roj, qhov loj me ntawm μm, feem ntau kuj tau hais tawm txog pes tsawg mg / m3 ntawm kev tsis muaj peev xwm ntawm mg / m3 ntawm cov roj tsis muaj peev xwm, uas npog cov roj cov ntsiab lus.
Polledant Qhov Loj Tshaj Tawm: Cov kuab paug, feem ntau yog hais txog cov raj xa dej, thiab cov pa roj av thiab lwm yam, raws li qhov loj me ntawm nws qhov loj me me tau muab faib ua
a) cov lus loj - particle loj dua 5μm
b) particle - cov khoom tawv ntawm 0.1μm-5μm
c) ultra-micro hais - particle loj tsawg dua 0.1μm.
Txhawm rau txhim kho cov ntawv thov ntawm cov thev naus laus zis no, yuav tsum tau kev nkag siab txog qhov loj me me thiab μm units, ib txheej ntawm cov xwm txheej tshwj xeeb yog muab rau kev siv
Cov hauv qab no yog qhov sib piv ntawm cov lus tshwj xeeb
| Npe / Particle Loj (μm) | Npe / Particle Loj (μm) | Npe / Particle Loj (μm) |
| Tus Kab Mob 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Aerosolized microdroomlet 1-12 |
| Nuclear Roj 0.01-0.1 | Xim 0.1-6 | Ya Tshauv 1-200 |
| Carbon Dub 0.01-0.3 | Mis Hmoov 0.1-10 | Tshuaj tua kab 5-10 |
| Resin 0.01-1 | Cov kab mob 0.3-30 | Cement plua plav 5-100 |
| Cov pa luam yeeb 0.01-1 | Sand Plua Plav 0.5-5 | Pollen 10-15 |
| Silicone 0.02-0.1 | Yam Tshuaj 0.5-10 | Tib Neeg Cov Plaub Hau 50-120 |
| Crystallized ntsev 0.03-0.5 | Hnov Cov Sulphur Sulphur 1-11 | Hiav Txwv Xuab Zeb 100-1200 |
Lub Sijhawm Post: Jun-14-2022